在太阳能光伏行业,单晶炉热场的好坏直接关系到单晶硅的质量,合格的热场能够生长出高质量的单晶,因此创造良好的热场条件,在直拉单晶工艺上有非常重要的因素。石墨是单晶生长的载体,石墨在直拉单晶生长炉中以高纯石墨和等静压石墨加工件为主。
加热器是热场中很重要的部件,是直接发热体,温度高的时候可以达到1600度以上。常见的加热器有三种形状,筒状、杯状、螺旋状。就
石墨坩埚、石墨托杆、石墨托盘
坩埚托杆、坩埚和托盘共同构成了石墨坩埚的支撑体,要求和下轴结合牢固,对中性良好在下轴进行转动时,托杆及托盘的摆渡小于等于0.5mm石墨支撑体的高度是可以调节的。
保温盖、导流筒
保温盖有保温上盖、保温碳毡和保温下盖组成,即两层环状石墨之间夹一层石墨碳毡组成。导流筒主要是未来控制热场的温度梯度和引导氩气流。
压环
石墨压环由几截弧形构成的圆形环状石墨件,放置在盖板与炉壁接触处,是为了防止热量和气体从壁炉与盖板的缝隙间的通过。
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