石墨托盘又称坩埚托盘,石墨托盘位于单晶炉中石墨坩埚下面的支撑件,在单晶炉热场中,石墨托盘的安装要求与下轴结合牢固,对中性良好,在下轴转动时,石墨托盘的偏摆渡≤0.5mm。
信瑞达石墨托盘选用石墨材料进行特殊加工,具有耐温高,自润滑性能好,便于推拉,不易附着其他物体,强度高,不易破损,在没有润滑剂的条件下与许多金属部件磨擦时,其磨擦系数低,并且热稳定性很高,具有较高的导热系数,热膨胀系数又比较低,不易变形,尺寸稳定。
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