拉直单晶硅用石墨下保温筒在单晶炉热场中起到保护与保温作用,单晶石墨保温筒从上至下依次包括上筒、中筒和下筒,且中筒上边沿不低于本体的上边沿、下边沿不高于本体的下边沿。
单晶石墨下保温筒与石墨碳毡组成了底部的保温系统,用于加强埚底保温,提高埚底温度,减少热量损失。石墨保温筒结构稳定不易变形、保温效果较好、易于加工和不会影响单晶成长。
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